1、离子束辅助沉积
离子束辅助沉积(IBAD)是在气相沉积的同时辅以离子束轰击的薄膜制备方法，可在低温下合成致密、均匀的薄膜。
2、离子束辅助沉积技术
离子束辅助沉积技术(IBAD)是一种新兴的PVD涂层技术。离子辅助气相沉积技术是指在冷相沉积涂层的同时,用具有一定能量的离子束轰击不断沉积的物质,使沉积原子...
3、离子束辅助沉积法
b、离子束辅助沉积法 离子束辅助沉积法（ion beamassisted deposition，IBAD）是在离子束技术的基础上发展 起来的，即在电子束蒸发沉积或离子束溅射沉积的同时以能量离子束轰击膜的生长...
4、离子辅助沉积(Ion Beam Assisted Deposition)
离子辅助沉积电子束蒸发Si基SiO_2薄膜的研究 研究了离子辅助沉积（IBAD）电子束蒸发和传统电子束蒸发两种镀膜方式在Si（100）面基底所镀SiO2光学薄膜的特性。